超聲波顯微鏡 (SAT)是Scanning Acoustic Tomography 的簡稱，又稱為C-SAM (C-mode Scanning Acoustic Microscope)。此檢測為應(yīng)用超聲波與不同密度材料的反射速率及能量不同的特性來進(jìn)行分析。 利用純水當(dāng)介質(zhì)傳輸超聲波信號，當(dāng)訊號遇到不同材料的界面時會部分反射及穿透，此種發(fā)射回波強(qiáng)度會因為材料密度不同而有所差異，掃描聲學(xué)顯微鏡就是利用此特性，來檢驗材料內(nèi)部的缺陷并依所接收的信號變化將之成像。

目的：

無損檢測電子元器件、LED、金屬基板的分層、裂紋等缺陷（裂紋、分層、空洞等）；通過圖像對比度判別材料內(nèi)部聲阻抗差異、確定缺陷形狀和尺寸、確定缺陷方位。

應(yīng)用范圍：

塑料封裝IC、晶片、PCB、LED

檢測步驟：

確認(rèn)樣品類型→選擇頻率探頭→放置測量裝置中→選擇掃描模式→掃描圖像→缺陷分析

依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)：

IPC/JEDEC J-STD-035 ,IPC/JEDEC J-STD-020, MIL-STD 883G, GJB 548B

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