一、說明

　　過濾網(wǎng)的泄漏測(cè)試應(yīng)當(dāng)是無塵室測(cè)試中，*復(fù)雜、*耗時(shí)間的測(cè)量項(xiàng)目。泄漏測(cè)試的目的，是要確認(rèn)：

　　1.濾網(wǎng)的材料無破損，

　　2.安裝恰當(dāng)。

　　濾網(wǎng)出廠前當(dāng)然要經(jīng)過泄漏測(cè)試，但是在搬運(yùn)與安裝過程難保完全無損，而且濾網(wǎng)的重要性又大于一切，因此安裝完畢都要做一次掃描，以確認(rèn)濾材無任何泄漏。另外，若是安裝不恰當(dāng)，微粒會(huì)從邊框漏進(jìn)無塵室風(fēng)口。就算是FFU系統(tǒng)，天花板上是負(fù)壓，若是邊框機(jī)有微粒日后仍舊會(huì)產(chǎn)生問題。因此，邊框掃描一樣重要。濾網(wǎng)泄漏測(cè)試基本上是利用濾網(wǎng)上游的顆粒，然后在濾網(wǎng)下表面與邊框用微粒探測(cè)儀器搜尋有無泄漏。泄漏測(cè)試有幾種不同的方式，適用在不同的場合。

　　測(cè)試方式有：

　　氣膠光度計(jì)測(cè)試法，

　　2.微粒計(jì)數(shù)器測(cè)試法，

　　3.全效率測(cè)試法，

　　4.外氣測(cè)試法。

　　二、方法

　　氣溶膠光度計(jì)測(cè)試法

　　氣膠光度計(jì)測(cè)試法是*早期的測(cè)試方式，但是因?yàn)樾Ч浅：?，到今天仍舊沿用。氣膠光度計(jì)（Aerosol Photometer）是微粒計(jì)數(shù)器的一種，也是使用雷射科技，但是它在掃描空氣樣本的微粒之后，所給的是微粒的總體強(qiáng)度，不是微粒數(shù)目。DOP是一種油性化學(xué)物質(zhì)，現(xiàn)改用PAO,加壓或加熱霧化之后，可以產(chǎn)生次微米等級(jí)的微粒，可用來模擬無塵室的微粒，因此被當(dāng)成驗(yàn)證微粒。微粒計(jì)數(shù)器測(cè)試法

　　半導(dǎo)體業(yè)方面，早期也是使用DOP/PAO與氣膠光度計(jì)，但是隨著制造精密度增加，油性挑戰(zhàn)微粒逐漸不容許在無塵室使用，因此出現(xiàn)使用干式灰塵當(dāng)成挑戰(zhàn)微粒，在上游施放，然后用微粒計(jì)數(shù)器在下游掃描，尋找泄漏，基本概念完全相同。經(jīng)過科學(xué)家一步步研究結(jié)果，發(fā)現(xiàn)PSL因?yàn)槲⒘５牧脚c濃度可以控制，因此是目前*廣為使用的標(biāo)準(zhǔn)微粒。使用時(shí)只要把PSL溶液霧化，導(dǎo)入濾網(wǎng)上游即可。