檢測(cè)概述：

電子氣體是發(fā)展集成電路、光電子、微電子，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過(guò)程中不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料，它被稱(chēng)為電子工業(yè)的“血液”和“糧食”，它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并從根本上制約著電路和器件的*性和準(zhǔn)確性。

檢測(cè)范圍：

氧化亞氮、氨、氯化氫、三氟化硼、氧、磷化氫、硅烷、甲烷、丙烯、氫、氦、氮、氨、氬、三氯化硼、三氟甲烷、六氟化硫、六氟化鎢、六氟乙烷、高純氯、三氟化氮等

檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)：

GB?T?34085-2017?電子工業(yè)用氣體?三氟甲烷?

GB?T?34091-2017?電子工業(yè)用氣體?六氟乙烷?

GB?T?33774-2017?電子工業(yè)用氣體?丙烯?

GB?T?15909-2017?電子工業(yè)用氣體?硅烷?

GB?T?32386-2015?電子工業(yè)用氣體?六氟化鎢?

GB?T?31986-2015?電子工業(yè)用氣體?八氟丙烷?

GB?T?31987-2015?電子工業(yè)用氣體?鍺烷?

GB?T?14602-2014?電子工業(yè)用氣體?氯化氫?

GB?T?18867-2014?電子工業(yè)用氣體?六氟化硫?

GB?T?18994-2014?電子工業(yè)用氣體?高純氯?

GB?T?31058-2014?電子工業(yè)用氣體?四氟化硅?

GB?T?17874-2010?電子工業(yè)用氣體?三氯化硼?

GB?T?26249-2010?電子工業(yè)用氣體?硒化氫?

GB?T?26250-2010?電子工業(yè)用氣體?砷化氫?

GB?T?14600-2009?電子工業(yè)用氣體?氧化亞氮?

GB?T?14601-2009?電子工業(yè)用氣體?氨?

GB?T?14603-2009?電子工業(yè)用氣體?三氟化硼?

GB?T?14604-2009?電子工業(yè)用氣體?氧?

GB?T?14851-2009?電子工業(yè)用氣體?磷化氫?

GB?T?16942-2009?電子工業(yè)用氣體?氫?

GB?T?16943-2009?電子工業(yè)用氣體?氦?

GB?T?16944-2009?電子工業(yè)用氣體?氮?

GB?T?16945-2009?電子工業(yè)用氣體?氬?

GB?T?21287-2007?電子工業(yè)用氣體?三氟化氮